Секретный «Манхэттенский проект» Китая создает прототип машины EUV-литографии

Китай только что перевел борьбу в полупроводниковой отрасли на новый уровень. Внутри закрытого комплекса в Шэньчжэне ученые построили прототип машины EUV-литографии, которую Вашингтон пытался заблокировать на протяжении многих лет.

Машина была завершена в начале 2025 года, занимает почти весь цех завода и сейчас проходит испытания. Она уже генерирует экстремальный ультрафиолетовый свет — ключевой элемент производства передовых чипов, хотя рабочих чипов с ее помощью пока не производят.

Весь проект был инициирован бывшими инженерами ASML, которых наняли для реверс-инжиниринга самой закрытой системы голландской компании, по словам людей, знакомых с деталями.

Лучи от машин EUV вырезают схемы, намного тоньше волоса. Тот, кто производит эти машины, контролирует высший уровень вычислительной мощности; искусственный интеллект, смартфоны, дроны, ракеты — все это.

Генеральный директор ASML Кристоф Фукэ заявил, что Китаю потребуется «многие, многие годы», прежде чем он создаст систему EUV, но люди, работающие над проектом, сказали, что прототип показывает, что Китай гораздо ближе к независимости в производстве полупроводников, чем многие ожидали. Они также заявили, что строгие ограничения на оптику и высокоточные детали все еще сдерживают Китай.

Но они подтвердили, что более старые компоненты ASML на вторичных рынках помогли стране создать эту первую внутреннюю машину. Один человек сказал, что правительство хочет получить рабочие чипы к 2028 году, но реалистичная дата — 2030 год.

Китай расширяет набор персонала и секретность по всей стране

Этот прототип является результатом шестилетнего национального плана, инициированного Си Цзиньпином, который сделал самообеспечение полупроводниками своим главным приоритетом. Проект в Шэньчжэне оставался секретным, даже когда Китай публично обсуждал цели в области чипов.

Государственные СМИ назвали Дин Сюэсяна официальным лицом, ответственным за более широкую стратегию в области полупроводников. Люди, знакомые с работой, сравнили все усилия с «Манхэттенским проектом Китая».

Huawei заняла центральную роль. Компания связала государственные институты, частные фирмы и тысячи инженеров. Один источник сказал: «Цель состоит в том, чтобы Китай в конечном итоге смог производить передовые чипы на машинах, полностью произведенных в Китае», добавив, что «Китай хочет, чтобы Соединенные Штаты были на 100% исключены из его цепочек поставок».

ASML остается единственным в мире поставщиком EUV, машины стоят около 250 миллионов долларов и используются производителями чипов, такими как TSMC, Intel и Samsung, для производства чипов, спроектированных компаниями, такими как Nvidia и AMD.

ASML заявила, что потребовалось два десятилетия и миллиарды евро, чтобы перейти от прототипа в 2001 году к коммерческим чипам в 2019 году. Компания сказала: «Понятно, что компании захотят воспроизвести нашу технологию, но это непростая задача».

Экспортный контроль США заблокировал продажи EUV в Китай с 2018 года и расширился в 2022 году при президенте Байдене. Администрация Трампа теперь заявляет, что ужесточает контроль и закрывает лазейки.

Нидерландское правительство проверяет исследовательские институты, чтобы предотвратить выход чувствительных технологий за пределы страны. Эти ограничения замедлили развитие чиповой отрасли Китая и ограничили более передовое производство Huawei.

Китай строит прототип и расширяет национальные операции в области чипов

Внутри защищенной лаборатории в Шэньчжэне новые сотрудники использовали вымышленные имена в удостоверениях личности. Один инженер сказал, что был шокирован, когда его пакет найма на работу пришел с псевдонимом. Он сказал, что узнал бывших коллег по ASML, которые также работали под ложными именами. Работникам сказали, что никто за пределами площадки не должен знать, что они строят.

Многие нанятые сотрудники были недавно вышедшими на пенсию бывшими инженерами ASML китайского происхождения. Два действующих сотрудника ASML в Нидерландах сказали, что рекрутеры Huawei начали обращаться к ним начиная с 2020 года.

Трансграничное соблюдение правил о неразглашении было слабым, и ASML ранее выиграла судебное дело на сумму 845 миллионов долларов против бывшего инженера, обвиняемого в краже секретов, который теперь работает в Пекине.

Нидерландская разведка предупредила, что Китай использует «широкие программы шпионажа» для сбора высокотехнологичных знаний, включая вербовку западных исследователей.

Предположительно, ветераны ASML сделали прорыв возможным, потому что реверс-инжиниринг систем EUV был бы «почти невозможен» без них.

Китай начал масштабную кампанию по набору персонала в 2019 году, предлагая приветственные бонусы в размере 3–5 миллионов юаней и субсидии на жилье. Одним из нанятых был Линь Нан, бывший глава технологического направления источников света в ASML. Его новая команда подала восемь патентов на EUV за 18 месяцев.

Некоторым натурализованным гражданам за рубежом даже выдали паспорта Китая, несмотря на запрет Китая на двойное гражданство.

Системы ASML весят 180 тонн, поэтому Китай построил гораздо более крупный прототип после того, как не смог воспроизвести оригинальный размер. Прототип работает, но груб по сравнению с версией ASML. Отсутствующие детали включают высокоточную оптику, обычно поставляемую Carl Zeiss AG.

Институты Китая, включая CIOMP в Чанчуне, работали над местными заменами и интегрировали луч EUV в начале 2025 года. CIOMP предлагал «неограниченные» зарплаты и гранты до 4 миллионов юаней исследователям со степенью PhD.

Китай выкупал более старые машины и детали ASML с аукционов и вторичных рынков. Некоторые детали, связанные с Nikon и Canon, также пошли в прототип. Компании-посредники маскировали покупки.

Около 100 недавних выпускников занимались реверс-инжинирингом компонентов, и на каждом столе была камера, записывающая работу. Бонусы выплачивались, когда работник успешно восстанавливал деталь.

Сотрудники Huawei, назначенные в команды по полупроводникам, часто спали на рабочем месте и не могли возвращаться домой в течение недели. Использование телефонов было ограничено.

Один человек предположительно сказал, что команды оставались изолированными, чтобы они не знали, что строят другие. Генеральный директор Рэн Чжэнфей информировал старших руководителей о вехи проекта, поскольку страна стремилась к полному контролю над цепочкой поставок чипов.