В рамках секретного китайского «Манхэттенского проекта» создан прототип установки для EUV-литографии.

Китай вывел борьбу за полупроводниковую отрасль на новый уровень. Внутри герметичного комплекса в Шэньчжэне ученые создали прототип установки для EUV-литографии, которую Вашингтон пытался заблокировать в течение многих лет.

Станок был завершен в начале 2025 года, занимает почти весь производственный цех и сейчас проходит испытания. Он уже генерирует экстремальное ультрафиолетовое излучение, ключевой элемент передового производства микросхем, хотя пока еще не производил работающие чипы.

По словам людей, знакомых с подробностями, весь проект был инициирован бывшими инженерами ASML, которых привлекли для обратного проектирования самой закрытой системы голландской компании.

Лучи от установок EUV создают схемы, намного тоньше волоса. Тот, кто создает эти машины, контролирует вычислительные мощности высшего уровня: искусственный интеллект, смартфоны, дроны, ракеты — всё это.

Генеральный директор ASML Кристоф Фуке заявил, что Китаю потребуется «много-много лет», прежде чем он создаст систему EUV, но люди, работающие над проектом, говорят, что прототип показывает, что Китай гораздо ближе к независимости в полупроводниковой отрасли, чем многие ожидали. Они также отметили, что жесткие ограничения на оптику и высокоточные компоненты по-прежнему сдерживают развитие Китая.

Однако они подтвердили, что более старые компоненты ASML на вторичном рынке помогли стране создать эту первую отечественную машину. Один человек сказал, что правительство хочет получить работающие чипы к 2028 году, но реалистичная дата — 2030 год.

Китай навязывает вербовку и держит всё в секрете по всей стране.

Этот прототип — результат шестилетнего национального плана, утвержденного Си Цзиньпином, который сделал самообеспечение полупроводниками одним из главных приоритетов. Проект в Шэньчжэне оставался в секрете, даже когда Китай публично говорил о целях в области производства микросхем.

Государственные СМИ назвали Дин Сюэсяна чиновником, ответственным за общую стратегию в полупроводниковой отрасли. Источники, знакомые с ходом работы, сравнили все эти усилия с «китайским Манхэттенским проектом».

Компания Huawei заняла центральное место. Она объединила государственные институты, частные фирмы и тысячи инженеров. Один источник заявил: «Цель состоит в том, чтобы Китай в конечном итоге смог производить передовые чипы на машинах, полностью произведенных в Китае», добавив, что «Китай хочет, чтобы Соединенные Штаты были полностью исключены из его цепочек поставок».

ASML остается единственным в мире поставщиком оборудования для EUV-литографии, стоимость которого составляет около 250 миллионов долларов. Это оборудование используется такими производителями микросхем, как TSMC, Intel и Samsung, для производства чипов, разработанных такими компаниями, как Nvidia и AMD.

Компания ASML заявила, что на переход от прототипа в 2001 году к коммерческим чипам в 2019 году потребовалось два десятилетия и миллиарды евро. Компания отметила: «Вполне логично, что компании хотели бы воспроизвести нашу технологию, но сделать это – непростая задача».

С 2018 года США вводят экспортный контроль, блокирующий продажу EUV-технологий в Китай, а в 2022 году, приdent Байдене, этот контроль был расширен. Администрация Трампа теперь заявляет об ужесточении контроля и устранении лазеек.

Правительство Нидерландов проводит проверки исследовательских учреждений, чтобы предотвратить вывоз из страны чувствительных технологий. Эти ограничения замедлили развитие китайского сектора производства микросхем и ограничили выпуск более передовых продуктов компанией Huawei.

Китай создает прототип и расширяет собственное производство микросхем.

Внутри охраняемой лаборатории в Шэньчжэне новые сотрудники использовали вымышленные имена в удостоверениях личности. Один инженер сказал, что был шокирован, когда в его пакете документов о приеме на работу был указан псевдоним. Он сказал, что узнал бывших коллег из ASML, которые также работали под вымышленнымиdent. Рабочим было сказано, что никто за пределами объекта не должен знать, что они строят.

Многие из новобранцев были недавно вышедшими на пенсию бывшими инженерами ASML, уроженцами Китая. Двое нынешних сотрудников ASML в Нидерландах заявили, что представители Huawei начали обращаться к ним с 2020 года.

Трансграничное соблюдение правил неразглашения информации было слабым, и компания ASML однажды выиграла дело, получив компенсацию в размере 845 миллионов долларов против бывшего инженера, обвиняемого в краже секретов, который сейчас работает в Пекине.

Голландская разведка предупредила, что Китай использует «масштабные шпионские программы» для сбора высокотехнологичных знаний, в том числе для вербовки западных исследователей.

По утверждению экспертов, прорыв стал возможен благодаря ветеранам ASML, поскольку обратное проектирование систем EUV было бы «практически невозможным» без их участия.

В 2019 году Китай начал масштабную кампанию по набору персонала, предлагая бонусы за подписание контракта в размере 3–5 миллионов юаней и субсидии на обучение. Одним из принятых на работу сотрудников стал Линь Нань, бывший руководитель отдела технологий источников света в ASML. Его новая команда за 18 месяцев подала восемь заявок на патенты в области EUV-литографии.

Некоторым натурализованным гражданам за границей даже выдали китайские паспорта, несмотря на запрет Китаем двойного гражданства.

Системы ASML весят 180 тонн, поэтому Китай, не сумев создать прототип, значительно превосходящий первоначальные размеры, построил гораздо более крупный. Прототип работает, но он довольно примитивен по сравнению с версией ASML. Среди недостающих деталей — высокоточная оптика, обычно поставляемая компанией Carl Zeiss AG.

Китайские институты, включая CIOMP в Чанчуне, работали над заменой существующих установок и интегрировали УФ-луч в начале 2025 года. CIOMP предлагал аспирантам «неограниченные» зарплаты и гранты до 4 миллионов юаней.

Китай изъял старые станки и комплектующие ASML с аукционов и рынков подержанных товаров. Некоторые детали, связанные с Nikon и Canon, также были использованы в прототипе. Компании-посредники скрывали факты закупок.

Около 100 недавних выпускников занимались обратным проектированием компонентов, и за каждым рабочим столом была установлена ​​камера, записывающая процесс. За успешное восстановление детали работнику выплачивались премии.

Сотрудники Huawei, работающие в полупроводниковых подразделениях, часто ночевали на территории предприятия и не могли уехать домой в течение недели. Использование телефонов было ограничено.

Один человек якобы заявил, что команды оставались изолированными, чтобы не знать, что разрабатывают другие. Генеральный директор Рен Чжэнфэй проинформировал высшее руководство о этапах проекта, поскольку страна стремится к полному контролю над своей цепочкой поставок микросхем.