Chinas geheimes „Manhattan-Projekt“ baut Prototyp einer EUV-Lithografiemaschine

China hat den Kampf um Halbleiter gerade in ein neues Kapitel geführt. In einem abgeschirmten Komplex in Shenzhen haben Wissenschaftler einen Prototyp einer EUV-Lithografiemaschine gebaut, den Washington seit Jahren zu blockieren versucht.

Die Maschine wurde Anfang 2025 fertiggestellt, nimmt fast die gesamte Etage einer Fabrik ein und befindet sich nun in der Testphase. Sie erzeugt bereits extrem ultraviolettes Licht, den Schlüsselaspekt der fortschrittlichen Chipfertigung, hat jedoch noch keine funktionsfähigen Chips produziert.

Das gesamte Projekt wurde von ehemaligen ASML-Ingenieuren vorangetrieben, die rekrutiert wurden, um das am strengsten eingeschränkte System des niederländischen Unternehmens nachzubauen, so Personen, die die Details kennen.

Strahlen von EUV-Maschinen ritzen Schaltkreise, die viel dünner sind als ein Haarstrang. Wer diese Maschinen herstellt, kontrolliert die oberste Ebene der Rechenleistung; KI, Smartphones, Drohnen, Raketen, alles davon.

ASML-CEO Christophe Fouquet sagte, China werde „viele, viele Jahre“ brauchen, bevor es ein EUV-System baut, aber Personen, die an dem Projekt arbeiten, sagten, der Prototyp zeige, dass China der Halbleiterunabhängigkeit viel näher ist, als viele erwartet hatten. Sie sagten auch, dass strenge Beschränkungen bei Optik und hochpräzisen Teilen China weiterhin zurückhalten.

Sie bestätigten jedoch, dass ältere ASML-Komponenten auf Sekundärmärkten dem Land halfen, diese erste inländische Maschine zu bauen. Eine Person sagte, die Regierung wolle funktionsfähige Chips bis 2028, aber das realistische Datum sei 2030.

China pusht Rekrutierung und Geheimhaltung landesweit

Dieser Prototyp ist das Ergebnis eines sechsjährigen nationalen Plans, der von Xi Jinping angeordnet wurde, der die Halbleiter-Selbstversorgung zur obersten Priorität machte. Das Shenzhen-Projekt blieb geheim, selbst als China öffentlich über Chip-Ziele sprach.

Staatliche Medien nannten Ding Xuexiang als den für die umfassendere Halbleiterstrategie zuständigen Beamten. Personen, die mit der Arbeit vertraut sind, verglichen die gesamte Anstrengung mit „Chinas Manhattan-Projekt“.

Huawei trat in eine zentrale Rolle. Das Unternehmen verband staatliche Institute, private Firmen und Tausende von Ingenieuren. Eine Quelle sagte: „Das Ziel ist es, dass China schließlich in der Lage sein wird, fortschrittliche Chips auf Maschinen herzustellen, die vollständig aus China stammen“, und fügte hinzu, „China will die USA zu 100 % aus seinen Lieferketten verdrängen.“

ASML bleibt der einzige EUV-Lieferant der Welt, mit Maschinen, die etwa 250 Millionen US-Dollar kosten und von Chipherstellern wie TSMC, Intel und Samsung verwendet werden, um Chips zu produzieren, die von Unternehmen wie Nvidia und AMD entworfen wurden.

ASML sagte, es habe zwei Jahrzehnte und Milliarden von Euro gedauert, von einem Prototyp im Jahr 2001 zu kommerziellen Chips im Jahr 2019 zu gelangen. Das Unternehmen sagte: „Es ist verständlich, dass Unternehmen ihre Technologie nachbauen wollen, aber das ist keine kleine Leistung.“

US-Exportkontrollen haben EUV-Verkäufe an China seit 2018 blockiert und 2022 unter Präsident Biden ausgeweitet. Die Trump-Administration sagt nun, sie verschärfe die Durchsetzung und schließe Schlupflöcher.

Die niederländische Regierung prüft Forschungseinrichtungen, um zu verhindern, dass sensible Technologie das Land verlässt. Diese Grenzen verlangsamten Chinas Chipsektor und beschränkten Huaweis fortschrittlichere Produktion.

China baut den Prototyp und erweitert nationale Chip-Operationen

Im sicheren Labor in Shenzhen nutzten neue Rekruten falsche Namen auf Ausweiskarten. Ein Ingenieur sagte, er sei schockiert gewesen, als sein Einstellungsangebot mit einem Pseudonym kam. Er sagte, er habe ehemalige ASML-Kollegen erkannt, die ebenfalls unter falschen Identitäten arbeiteten. Arbeitern wurde gesagt, dass niemand außerhalb des Standorts wissen dürfe, was sie bauten.

Viele Rekruten waren kürzlich pensionierte, in China geborene ehemalige ASML-Ingenieure. Zwei aktuelle ASML-Mitarbeiter in den Niederlanden sagten, Huawei-Rekrutierer hätten sie ab 2020 angesprochen.

Die grenzüberschreitende Durchsetzung von Geheimhaltungsregeln war schwach, und ASML gewann einst ein Urteil über 845 Millionen US-Dollar gegen einen ehemaligen Ingenieur, dem der Diebstahl von Geheimnissen vorgeworfen wurde und der jetzt in Peking operiert.

Der niederländische Geheimdienst warnte, dass China „umfassende Spionagепrogramme“ zur Beschaffung von High-Tech-Wissen nutzt, einschließlich der Rekrutierung westlicher Forscher.

Angeblich machten ASML-Veteranen den Durchbruch möglich, weil das Reverse-Engineering von EUV-Systemen ohne sie „fast unmöglich“ gewesen wäre.

China begann 2019 eine große Rekrutierungskampagne und bot Unterschriftsprämien von 3–5 Millionen Yuan sowie Wohnbeihilfen. Ein Rekrut war Lin Nan, der ehemalige Leiter der Lichtquellentechnologie bei ASML. Sein neues Team reichte in 18 Monaten acht EUV-Patente ein.

Einigen naturalisierten Bürgern im Ausland wurden sogar chinesische Pässe ausgestellt, obwohl China die doppelte Staatsbürgerschaft verbietet.

ASMLs Systeme wiegen 180 Tonnen, daher baute China einen viel größeren Prototyp, nachdem er die ursprüngliche Größe nicht erreichen konnte. Der Prototyp funktioniert, ist aber im Vergleich zu ASMLs Version rau. Fehlende Teile umfassen die hochpräzise Optik, die normalerweise von Carl Zeiss AG geliefert wird.

Chinas Institute, darunter das CIOMP in Changchun, arbeiteten an lokalen Ersatzteilen und integrierten den EUV-Strahl Anfang 2025. Das CIOMP bot „unbegrenzte“ Gehälter und Zuschüsse bis zu 4 Millionen Yuan für PhD-Forscher an.

China zog ältere ASML-Maschinen und Teile aus Auktionen und Gebrauchtmärkten ab. Einige Teile, die mit Nikon und Canon verbunden waren, gingen ebenfalls in den Prototyp. Zwischenfirmen maskierten die Käufe.

Rund 100 Absolventen rekonstruierten Komponenten, und an jedem Schreibtisch war eine Kamera installiert, die die Arbeit aufzeichnete. Boni wurden gezahlt, wenn ein Arbeiter erfolgreich ein Teil nachbaute.

Huawei-Mitarbeiter, die Halbleiter-Teams zugewiesen waren, schliefen oft vor Ort und durften während der Woche nicht nach Hause gehen. Telefone waren eingeschränkt.

Eine Person sagte angeblich, Teams blieben isoliert, damit sie nicht wüssten, was andere bauten. CEO Ren Zhengfei informierte die Spitzenführung über Projektmeilensteine, während das Land den vollständigen Kontrolle über seine Chip-Lieferkette vorantrieb.