중국의 비밀 '맨해튼 프로젝트'가 프로토타입 EUV 리소그래피 기계 구축

중국은 반도체 전쟁을 새로운 장으로 밀어붙였다. 선전 내 밀폐된 단지 내부에서 과학자들은 워싱턴이 수년간 차단하려 했던 프로토타입 EUV 리소그래피 기계를 구축했다.

이 기계는 2025년 초에 완성되었으며 거의 전체 공장 층을 차지하고 있으며 이제 테스트 중이다. 이미 고급 칩 제조의 핵심 부분인 극자외선(EUV) 빛을 생성하지만, 아직 작동하는 칩은 생산하지 못했다.

상세 사항을 아는 사람들에 따르면, 이 전체 프로젝트는 네덜란드 회사의 가장 제한적인 시스템을 역공학하기 위해 채용된 전직 ASML 엔지니어들에 의해 주도되었다.

EUV 기계의 빔은 머리카락 한 가닥보다 훨씬 얇은 회로를 조각한다. 이러한 기계를 만드는 자가 컴퓨팅 파워의 최상위 계층을 통제하며, AI, 스마트폰, 드론, 미사일 등이 모두 포함된다.

ASML CEO 크리스토프 푸케(Christophe Fouquet)는 중국이 EUV 시스템을 구축하기 위해 '수많은, 수많은 년'이 필요할 것이라고 말했지만, 프로젝트에 종사하는 사람들은 프로토타입이 중국이 많은 사람들이 예상했던 것보다 반도체 자립에 훨씬 더 가까이 있음을 보여준다고 말했다. 그들은 또한 광학 및 고정밀 부품에 대한 무거운 제한이 여전히 중국을 뒤처지게 한다고 말했다.

하지만 그들은 2차 시장의 구형 ASML 부품들이 이 첫 번째 국내 기계 구축에 국가를 도왔다고 확인했다. 한 사람은 정부가 2028년까지 작동하는 칩을 원하지만 현실적인 날짜는 2030년이라고 말했다.

중국이 전국적으로 채용과 비밀 유지 확대

이 프로토타입은 시진핑 주석이 반도체 자급자족을 최우선 과제로 삼은 6년 간의 국가 계획의 결과물이다. 선전 프로젝트는 중국이 칩 목표를 공개적으로 논의하는 동안에도 비밀로 유지되었다.

국가 매체는ding xuexiang(딩쉐샹)을 광범위한 반도체 전략을 담당하는 공식으로 지명했다. 작업에 정통한 사람들은 전체 노력을 '중국의 맨해튼 프로젝트'에 비유했다.

화웨이가 중심적인 역할을 맡았다. 이 회사는 국가 연구소, 사기업 및 수천 명의 엔지니어들을 연결했다. 한 소식통은 "목표는 중국이 결국 완전히 중국산 기계로 고급 칩을 만들 수 있게 되는 것"이라고 추가하며, "중국은 미국을 공급망에서 100% 배제하기를 원한다"고 말했다.

ASML은 세계 유일의 EUV 공급업체이며, 기계 가격은 약 2억 5천만 달러이며, TSMC, 인텔, 삼성과 같은 칩 제조업체들이 엔비디아와 AMD와 같은 회사들이 설계한 칩을 생산하는 데 사용된다.

ASML은 2001년의 프로토타입에서 2019년의 상용 칩까지 20년과 수십억 유로가 걸렸다고 말했다. 회사는 "기업들이 우리 기술을 복제하고 싶어 하는 것은 이해가 가지만, 그렇게 하는 것은 작은 일이 아니다"라고 말했다.

미국의 수출 통제는 2018년부터 중국에 대한 EUV 판매를 차단했으며, 바이든 대통령 재임 기간 중 2022년에 확대되었다. 트럼프 행정부는 이제 단속을 강화하고 구멍을 막고 있다고 말한다.

네덜란드 정부는 민감한 기술이 국가를 벗어나는 것을 방지하기 위해 연구 기관들을 심사하고 있다. 이러한 제한들은 중국의 칩 섹터를 늦추고 화웨이의 더 고급 생산을 제한했다.

중국이 프로토타입을 구축하고 국가 칩 운영을 확대

안전한 선전 실험실 내부에서 신규 채용자들은 ID 카드에 가명을 사용했다. 한 엔지니어는 채용 패키지가 가명과 함께 도착했을 때 충격을 받았다고 말했다. 그는 가명 아래에서 일하던 전직 ASML 동료들을 알아봤다고 말했다. 직원들에게는 사이트 외부의 누구도 그들이 무엇을 구축하고 있는지 알 수 없다고 말했다.

많은 신규 채용자들은 최근 은퇴한 중국 출신의 전직 ASML 엔지니어들이었다. 네덜란드에 있는 현재 ASML 직원 두 명은 2020년부터 화웨이 채용 담당자들이 그들에게 접근했다고 말했다.

국경 간 비밀 유지 규칙의 집행은 약했으며, ASML은 베이징에서 운영 중인 전직 엔지니어가 비밀을 훔쳤다는 혐의로 $8억 4,500만 달러의 판결을 받은 바 있다.

네덜란드 정보당국은 중국이 서방 연구원 채용을 포함하여 첨단 기술 지식을 수집하기 위해 '광범위한 간첩 프로그램'을 사용한다고 경고했다.

알려진 바에 따르면, ASML 베테랑들이 역공학이 그들 없이는 '거의 불가능'했을 EUV 시스템을 가능하게 했다고 한다.

중국은 2019년 주요 채용 드라이브를 시작하여 300만~500만 위안의 서명 보너스와 주택 보조금을 제공했다. 한 신규 채용자는 ASML의 전직 광원 기술 책임자 린난(Lin Nan)이었다. 그의 새 팀은 18개월 내에 8개의 EUV 특허를 출원했다.

이민한 일부 귀화 시민들은 중국이 이중 국적을 금지함에도 불구하고 중국 여권을 부여받았다.

ASML의 시스템은 180톤이므로, 중국은 원래 크기를 맞추는 데 실패한 후 훨씬 더 큰 프로토타입을 구축했다. 프로토타입은 작동하지만 ASML의 버전과 비교하면 거칠다. 누락된 부분에는 일반적으로 칼 자이스 AG에서 공급하는 고정밀 광학 부품이 포함된다.

창춘의 CIOMP을 포함한 중국의 연구소들은 2025년 초 현지 대체품을 개발하고 EUV 빔을 통합했다. CIOMP은 박사 연구원들에게 '무제한' 급여와 최대 400만 위안의 보조금을 제공했다.

중국은 경매와 중고 시장에서 구형 ASML 기계와 부품을 인수했다. 닛콘과 캐논과 관련된 일부 부품도 프로토타입에 사용되었다. 중개 회사들은 구매를 은폐했다.

약 100명의 최근 졸업생들이 부품을 역공학했으며, 각 책상에는 작업이 기록되는 카메라가 있었다. 직원이 부품을 성공적으로 재구축했을 때 보너스가 지급되었다.

반도체 팀에 배정된 화웨이 직원들은 종종 현장에서 잠을 자며 주중에는 집에 갈 수 없었다. 전화기 사용이 제한되었다.

한 사람은 팀들이 서로가 무엇을 구축하고 있는지 알지 못하도록 고립되어 있었다고 allegedly 말했다. 런 정페이(Ren Zhengfei) CEO는 국가가 칩 공급망의 완전한 통제에 다가감에 따라 프로젝트 마일스톤에 대해 최고 지도자들에게 보고했다.