중국의 비밀 프로젝트인 "맨해튼 프로젝트"에서 EUV 리소그래피 장비 시제품을 제작했습니다.

중국이 반도체 경쟁을 새로운 국면으로 끌어올렸다. 선전의 밀폐된 시설 안에서 과학자들이 미국이 수년간 저지하려 했던 EUV 리소그래피 장비의 프로토타입을 제작했다.

이 기계는 2025년 초에 완성되었으며, 공장 바닥 전체를 거의 다 차지할 정도로 크고 현재 시험 단계에 있습니다. 첨단 반도체 제조의 핵심 요소인 극자외선을 이미 생성하고 있지만, 아직 작동하는 칩을 생산하지는 못했습니다.

이 프로젝트 전체는 ASML 출신 엔지니어들이 주도했는데, 이들은 네덜란드 회사의 가장 엄격한 보안 시스템을 역설계하기 위해 영입되었다고 내부 사정에 정통한 관계자들이 밝혔습니다.

EUV 장비에서 나오는 빔은 머리카락보다 훨씬 가는 회로를 조각할 수 있습니다. 이러한 장비를 만드는 회사는 인공지능, 스마트폰, 드론, 미사일 등 최고 수준의 컴퓨팅 성능을 장악하고 있습니다.

ASML의 CEO인 크리스토프 푸케는 중국이 EUV 시스템을 구축하는 데 "수많은 세월"이 걸릴 것이라고 말했지만, 프로젝트 관계자들은 시제품을 통해 중국이 예상보다 반도체 자립에 훨씬 더 가까워졌음을 보여준다고 평가했습니다. 다만, 광학 부품과 고정밀 부품에 대한 엄격한 제약이 여전히 중국의 발전을 저해하고 있다고 덧붙였습니다.

하지만 그들은 중고 시장에서 구할 수 있는 ASML의 구형 부품들이 이 나라가 최초의 국산 기계를 만드는 데 도움이 되었다고 확인했습니다. 한 관계자는 정부가 2028년까지 작동 가능한 칩을 확보하기를 원하지만 현실적인 목표 시점은 2030년이라고 말했습니다.

중국은 전국적으로 모집과 비밀주의를 강화하고 있다.

이 시제품은 시진핑 주석이 반도체 자급자족을 최우선 과제로 삼고 지시한 6년 국가 계획의 결과물입니다. 중국이 반도체 목표에 대해 공개적으로 언급했음에도 불구하고, 선전 프로젝트는 비밀리에 진행되었습니다.

국영 언론은 딩쉐샹을 더 광범위한 반도체 전략을 담당하는 책임자로 지목했다. 이 업무에 정통한 관계자들은 이 모든 노력을 "중국의 맨해튼 프로젝트"에 비유했다.

화웨이는 핵심적인 역할을 맡았습니다. 이 회사는 국가 연구 기관, 민간 기업, 그리고 수천 명의 엔지니어를 연결했습니다. 한 소식통은 "궁극적으로 중국이 모든 부품을 자체 제작한 기계로 첨단 칩을 생산하는 것이 목표"라며 "중국은 미국을 공급망에서 100% 배제하기를 원한다"고 말했습니다.

ASML은 여전히 ​​세계 유일의 EUV 공급업체이며, 약 2억 5천만 달러에 달하는 장비를 TSMC, 인텔, 삼성과 같은 반도체 제조업체들이 엔비디아, AMD와 같은 회사들이 설계한 칩을 생산하는 데 사용하고 있습니다.

ASML은 2001년 시제품 개발에서 2019년 상용 칩 출시까지 20년과 수십억 유로의 비용이 소요되었다고 밝혔습니다. 또한 "기업들이 우리 기술을 모방하려는 것은 당연하지만, 이는 결코 쉬운 일이 아니다"라고 덧붙였습니다.

미국은 2018년부터 중국에 대한 EUV(극자외선) 판매를 금지하는 수출 통제를 시행해 왔으며, 바이든 대통령dent 시절인 2022년에 이를 확대했습니다. 트럼프 행정부는 이제 단속을 강화하고 허점을 막겠다고 밝혔습니다.

네덜란드 정부는 민감한 기술이 해외로 유출되는 것을 막기 위해 연구 기관들을 심사하고 있습니다. 이러한 제한 조치는 중국의 반도체 산업 성장을 둔화시키고 화웨이의 첨단 기술 생산을 저해했습니다.

중국, 시제품 개발 및 국가 반도체 생산 확대

선전의 삼엄한 경비가 이루어지는 연구소 내부에서 신입 직원들은 신분증에 가명을 사용했습니다. 한 엔지니어는 채용 서류에 가명이 적혀 있는 것을 보고 충격을 받았다고 말했습니다. 그는dent으로 일하고 있는 예전 ASML 동료들을 알아보았다고 했습니다. 직원들은 연구소 외부 누구도 자신들이 무엇을 개발하고 있는지 알 수 없다는 지시를 받았습니다.

채용된 인원 중 상당수는 최근 은퇴한 중국 출신의 전 ASML 엔지니어들이었습니다. 네덜란드에 있는 ASML 현직 직원 두 명은 화웨이 채용 담당자들이 2020년부터 접촉해 왔다고 밝혔습니다.

국경을 넘는 기밀유지 규정의 집행은 미흡했으며, ASML은 과거 기밀을 훔친 혐의로 기소된 전직 엔지니어(현재 베이징에서 활동 중)를 상대로 8억 4500만 달러의 배상 판결을 받은 바 있다.

네덜란드 정보당국은 중국이 서방 연구원들을 포섭하는 등 첨단 기술 지식을 수집하기 위해 "광범위한 첩보 활동"을 벌이고 있다고 경고했다.

전해지는 바에 따르면, ASML의 베테랑 직원들이 없었다면 EUV 시스템을 역설계하는 것은 "거의 불가능했을" 것이기 때문에, 그들이 이 돌파구를 마련하는 데 결정적인 역할을 했다고 합니다.

중국은 2019년에 300만~500만 위안의 계약 보너스와 주택 보조금을 제공하며 대규모 인력 채용에 나섰습니다. 그중 한 명이 ASML의 광원 기술 부문 책임자였던 린난이었습니다. 그의 새로운 팀은 18개월 만에 EUV 관련 특허 8건을 출원했습니다.

중국이 이중국적을 금지하고 있음에도 불구하고, 해외에서 귀화한 일부 시민들은 중국 여권을 발급받기도 했습니다.

ASML의 시스템은 무게가 180톤에 달하기 때문에 중국은 원래 크기를 맞추는 데 실패하자 훨씬 더 큰 시제품을 제작했습니다. 이 시제품은 작동은 하지만 ASML 버전과 비교하면 조악합니다. 특히 칼 자이스(Carl Zeiss AG)에서 공급하는 고정밀 광학 부품이 빠져 있습니다.

창춘의 CIOMP를 비롯한 중국 연구기관들은 현지에서 대체 장비를 개발하고 2025년 초에 EUV 빔을 통합했습니다. CIOMP는 박사 과정 연구원들에게 최대 400만 위안의 무제한 급여와 연구비를 제공했습니다.

중국은 경매와 중고 시장에서 ASML의 구형 기계와 부품들을 사들였다. 니콘과 캐논 관련 부품 중 일부도 시제품에 사용되었다. 중간 업체들이 구매 내역을 은폐했다.

최근 졸업생 약 100명이 부품을 역설계했고, 각 책상에는 작업 과정을 녹화하는 카메라가 설치되어 있었다. 작업자가 부품 재조립에 성공하면 보너스가 지급되었다.

화웨이의 반도체 팀에 배정된 직원들은 종종 회사 내에서 숙박했고 주중에는 집에 갈 수 없었습니다. 휴대전화 사용도 제한되었습니다.

한 관계자는 팀들이 서로의 개발 상황을 알지 못하도록 격리된 상태를 유지했다고 전했다. 런정페이 CEO는 중국이 반도체 공급망을 완전히 통제하기 위해 노력하는 가운데, 프로젝트 진행 상황에 대해 고위 경영진에게 브리핑했다.