Le secret « Projet Manhattan » de la Chine construit une machine de lithographie EUV prototype

La Chine vient de faire passer le combat des semi-conducteurs à un nouveau chapitre. À l'intérieur d'un complexe scellé à Shenzhen, des scientifiques ont construit une machine de lithographie EUV prototype que Washington a essayé de bloquer pendant des années.

La machine a été terminée au début de 2025, occupe presque tout le sol d'une usine et est maintenant en phase de test. Elle génère déjà de la lumière ultraviolette extrême, la partie clé de la fabrication avancée de puces, bien qu'elle n'ait pas encore produit de puces fonctionnelles.

L'ensemble du projet a été dirigé par d'anciens ingénieurs d'ASML qui ont été recrutés pour rétroconcevoir le système le plus restreint de l'entreprise néerlandaise, selon des personnes qui connaissent les détails.

Les faisceaux des machines EUV gravent des circuits bien plus fins qu'un cheveu. Celui qui fabrique ces machines contrôle le haut de la hiérarchie de la puissance de calcul ; l'IA, les smartphones, les drones, les missiles, tout cela.

Le PDG d'ASML, Christophe Fouquet, a déclaré que la Chine aurait besoin de « nombreuses, nombreuses années » avant de construire un système EUV, mais les personnes travaillant sur le projet ont déclaré que le prototype montre que la Chine est beaucoup plus proche de l'indépendance en semi-conducteurs que beaucoup ne le pensaient. Ils ont également déclaré que des limites lourdes sur les optiques et les pièces de haute précision maintiennent toujours la Chine en retard.

Mais ils ont confirmé que les composants ASML plus anciens sur les marchés secondaires ont aidé le pays à construire cette première machine domestique. Une personne a déclaré que le gouvernement veut des puces fonctionnelles d'ici 2028, mais la date réaliste est 2030.

La Chine intensifie le recrutement et le secret dans tout le pays

Ce prototype est le résultat d'un plan national de six ans ordonné par Xi Jinping, qui a fait de l'autosuffisance en semi-conducteurs une priorité absolue. Le projet de Shenzhen est resté secret même lorsque la Chine parlait publiquement des objectifs en matière de puces.

Les médias d'État ont nommé Ding Xuexiang comme l'officiel en charge de la stratégie plus large en matière de semi-conducteurs. Des personnes familières avec le travail ont comparé l'ensemble de l'effort au « Projet Manhattan de la Chine ».

Huawei a joué un rôle central. L'entreprise a connecté les instituts d'État, les entreprises privées et des milliers d'ingénieurs. Une source a déclaré : « L'objectif est que la Chine puisse éventuellement fabriquer des puces avancées sur des machines entièrement fabriquées en Chine », ajoutant que « la Chine veut que les États-Unis soient retirés à 100 % de ses chaînes d'approvisionnement ».

ASML reste le seul fournisseur mondial d'EUV, avec des machines coûtant environ 250 millions de dollars et utilisées par les fabricants de puces comme TSMC, Intel et Samsung pour produire des puces conçues par des entreprises comme Nvidia et AMD.

ASML a déclaré qu'il a fallu deux décennies et des milliards d'euros pour passer d'un prototype en 2001 à des puces commerciales en 2019. L'entreprise a déclaré : « Il est logique que les entreprises veuillent reproduire notre technologie, mais cela ne se fait pas sans effort considérable ».

Les contrôles à l'exportation des États-Unis ont bloqué les ventes d'EUV à la Chine depuis 2018 et se sont élargis en 2022 sous la présidence de Biden. L'administration Trump déclare désormais qu'elle durcit l'application de la loi et comble les failles.

Le gouvernement néerlandais examine les institutions de recherche pour empêcher les technologies sensibles de quitter le pays. Ces limites ont ralenti le secteur des puces de la Chine et restreint la production plus avancée de Huawei.

La Chine construit le prototype et élargit les opérations nationales de puces

À l'intérieur du laboratoire sécurisé de Shenzhen, les nouveaux recrues utilisaient de faux noms sur leurs cartes d'identité. Un ingénieur a déclaré qu'il a été choqué lorsque son package d'embauche est venu avec un alias. Il a déclaré avoir reconnu d'anciens collègues d'ASML qui travaillaient également sous de fausses identités. On a dit aux travailleurs que personne en dehors du site ne pouvait savoir ce qu'ils construisaient.

De nombreux recrues étaient d'anciens ingénieurs d'ASML récemment retirés à la retraite, nés en Chine. Deux employés actuels d'ASML aux Pays-Bas ont déclaré que les recruteurs de Huawei les ont approchés à partir de 2020.

L'application transfrontalière des règles de non-divulgation a été faible, et ASML a remporté un jugement de 845 millions de dollars contre un ancien ingénieur accusé d'avoir volé des secrets qui opère désormais à Pékin.

Le renseignement néerlandais a averti que la Chine utilise des « programmes d'espionnage étendus » pour rassembler des connaissances de haute technologie, y compris le recrutement de chercheurs occidentaux.

Allégué, les vétérans d'ASML ont rendu la percée possible car la rétroconception des systèmes EUV aurait été « presque impossible » sans eux.

La Chine a lancé une importante campagne de recrutement en 2019, offrant des primes de signature de 3 à 5 millions de yuans et des subventions pour le logement. Un recrue était Lin Nan, l'ancien responsable de la technologie de source de lumière d'ASML. Sa nouvelle équipe a déposé huit brevets EUV en 18 mois.

Certains citoyens naturalisés à l'étranger ont même reçu des passeports chinois malgré l'interdiction par la Chine de la double citoyenneté.

Les systèmes d'ASML pèsent 180 tonnes, donc la Chine a construit un prototype beaucoup plus grand après avoir échoué à égaler la taille originale. Le prototype fonctionne mais est rugueux par rapport à la version d'ASML. Les pièces manquantes incluent les optiques de haute précision normalement fournies par Carl Zeiss AG.

Les instituts de la Chine, y compris le CIOMP à Changchun, ont travaillé sur des remplacements locaux et ont intégré le faisceau EUV au début de 2025. Le CIOMP a offert des salaires « illimités » et des subventions allant jusqu'à 4 millions de yuans aux chercheurs de doctorat.

La Chine a retiré les machines et pièces ASML plus anciennes des enchères et des marchés de seconde main. Certaines pièces liées à Nikon et Canon sont également entrées dans le prototype. Des sociétés intermédiaires ont masqué les achats.

Environ 100 diplômés récents ont rétroconçu des composants, et chaque bureau avait une caméra enregistrant le travail. Des primes ont été versées lorsqu'un travailleur a réussi à reconstruire une pièce.

Les employés de Huawei affectés aux équipes de semi-conducteurs dormaient souvent sur place et ne pouvaient pas rentrer chez eux pendant la semaine. Les téléphones étaient restreints.

Une personne a allégué que les équipes sont restées isolées afin qu'elles ne sachent pas ce que les autres construisaient. Le PDG Ren Zhengfei a briefé les dirigeants seniors sur les jalons du projet alors que le pays poussait vers un contrôle total de sa chaîne d'approvisionnement en puces.