Le « projet Manhattan », un projet secret chinois, construit un prototype de machine de lithographie EUV.

La Chine vient d'ouvrir un nouveau chapitre dans la course aux semi-conducteurs. Dans un complexe sécurisé à Shenzhen, des scientifiques ont construit un prototype de machine de lithographie EUV que Washington tente de bloquer depuis des années.

La machine, achevée début 2025, occupe la quasi-totalité d'un étage d'usine et est actuellement en phase de test. Elle génère déjà de la lumière ultraviolette extrême, élément clé de la fabrication de puces de pointe, bien qu'elle n'ait pas encore produit de puces fonctionnelles.

L'ensemble du projet a été piloté par d'anciens ingénieurs d'ASML recrutés pour procéder à une ingénierie inverse du système le plus restreint de l'entreprise néerlandaise, selon des personnes connaissant les détails.

Les faisceaux des machines EUV gravent des circuits bien plus fins qu'un cheveu. Celui qui fabrique ces machines contrôle la puissance de calcul la plus avancée : intelligence artificielle, smartphones, drones, missiles, tout y passe.

Le PDG d'ASML, Christophe Fouquet, a déclaré que la Chine aurait besoin de « très nombreuses années » avant de construire un système EUV. Cependant, les personnes travaillant sur le projet ont indiqué que le prototype démontre que la Chine est bien plus proche de l'indépendance en matière de semi-conducteurs que beaucoup ne le pensaient. Elles ont également précisé que d'importantes limitations concernant l'optique et les composants de haute précision freinent encore le développement de la Chine.

Ils ont toutefois confirmé que des composants ASML plus anciens, disponibles sur le marché secondaire, ont permis au pays de construire cette première machine nationale. Selon une source, le gouvernement souhaite disposer de puces fonctionnelles d'ici 2028, mais une échéance plus réaliste se situe plutôt autour de 2030.

La Chine encourage le recrutement et le secret dans tout le pays

Ce prototype est le fruit d'un plan national sur six ans, ordonné par Xi Jinping, qui a fait de l'autosuffisance en semi-conducteurs une priorité absolue. Le projet de Shenzhen est resté secret, même lorsque la Chine a publiquement évoqué ses objectifs dans le domaine des puces.

Les médias d'État ont désigné Ding Xuexiang comme le responsable de la stratégie globale en matière de semi-conducteurs. Des personnes au fait du dossier ont comparé l'ensemble du projet au « projet Manhattan chinois ».

Huawei s'est imposée comme un acteur central. L'entreprise a mis en relation des instituts d'État, des entreprises privées et des milliers d'ingénieurs. Selon une source, « l'objectif est que la Chine soit à terme capable de fabriquer des puces de pointe sur des machines entièrement chinoises », ajoutant que « la Chine souhaite exclure totalement les États-Unis de ses chaînes d'approvisionnement ».

ASML demeure le seul fournisseur mondial de technologies EUV, avec des machines coûtant environ 250 millions de dollars et utilisées par des fabricants de puces comme TSMC, Intel et Samsung pour produire des puces conçues par des sociétés comme Nvidia et AMD.

ASML a déclaré qu'il lui avait fallu deux décennies et des milliards d'euros pour passer d'un prototype en 2001 aux puces commerciales en 2019. L'entreprise a déclaré : « Il est logique que les entreprises veuillent reproduire notre technologie, mais ce n'est pas une mince affaire. »

Les contrôles américains à l'exportation bloquent les ventes de véhicules électriques EUV à la Chine depuis 2018 et ont été renforcés en 2022 sous ladent de Joe Biden. L'administration Trump affirme désormais durcir les contrôles et combler les lacunes juridiques.

Le gouvernement néerlandais contrôle les institutions de recherche afin d'empêcher la fuite des technologies sensibles hors du pays. Ces restrictions ont ralenti le secteur chinois des semi-conducteurs et limité la production de pointe de Huawei.

La Chine construit le prototype et étend ses activités nationales dans le domaine des semi-conducteurs.

Au sein du laboratoire sécurisé de Shenzhen, les nouvelles recrues utilisaient de faux noms sur leurs cartes d'identité. Un ingénieur a déclaré avoir été choqué de découvrir un pseudonyme sur son dossier d'embauche. Il a affirmé avoir reconnu d'anciens collègues d'ASML qui travaillaient également sous de faussesdent. Les employés avaient reçu l'ordre de ne pas être informés, à l'extérieur du site, de la nature de leurs projets.

De nombreuses recrues étaient d'anciens ingénieurs d'ASML, récemment retraités et originaires de Chine. Deux employés actuels d'ASML aux Pays-Bas ont déclaré avoir été contactés par des recruteurs de Huawei à partir de 2020.

L’application transfrontalière des règles de non-divulgation a été faible, et ASML a par le passé obtenu un jugement de 845 millions de dollars contre un ancien ingénieur accusé de vol de secrets qui opère maintenant à Pékin.

Les services de renseignement néerlandais ont averti que la Chine utilise de « vastes programmes d'espionnage » pour recueillir des connaissances de haute technologie, notamment en recrutant des chercheurs occidentaux.

Il semblerait que les anciens d'ASML aient rendu cette percée possible car la rétro-ingénierie des systèmes EUV aurait été « quasiment impossible » sans eux.

La Chine a lancé une vaste campagne de recrutement en 2019, offrant des primes à l'embauche de 3 à 5 millions de yuans et des aides au logement. Parmi les recrues figurait Lin Nan, ancien responsable des technologies de sources lumineuses chez ASML. Sa nouvelle équipe a déposé huit brevets EUV en 18 mois.

Certains citoyens naturalisés résidant à l'étranger ont même reçu des passeports chinois malgré l'interdiction de la double nationalité en Chine.

Les systèmes d'ASML pèsent 180 tonnes ; la Chine a donc construit un prototype beaucoup plus imposant après avoir échoué à reproduire les dimensions initiales. Ce prototype est fonctionnel, mais rudimentaire comparé à la version d'ASML. Il lui manque notamment les optiques de haute précision habituellement fournies par Carl Zeiss AG.

Les instituts chinois, dont le CIOMP à Changchun, ont travaillé sur des solutions de remplacement locales et ont intégré le faisceau EUV début 2025. Le CIOMP offrait des salaires « illimités » et des subventions allant jusqu'à 4 millions de yuans aux doctorants.

La Chine s'est procurée d'anciennes machines et pièces ASML auprès de vendeurs aux enchères et sur le marché de l'occasion. Certaines pièces liées à Nikon et Canon ont également été utilisées dans le prototype. Des sociétés intermédiaires ont dissimulé les achats.

Une centaine de jeunes diplômés ont procédé à la rétro-ingénierie de composants, chaque poste de travail étant équipé d'une caméra enregistrant les opérations. Des primes étaient versées lorsqu'un employé parvenait à reconstruire une pièce.

Les employés de Huawei affectés aux équipes de semi-conducteurs dormaient souvent sur place et ne pouvaient pas rentrer chez eux en semaine. L'utilisation des téléphones portables était restreinte.

Selon une source, les équipes auraient été isolées les unes des autres afin d'ignorer les travaux en cours. Le PDG, Ren Zhengfei, a informé les hauts responsables des étapes clés du projet, tandis que le pays s'efforçait de maîtriser pleinement sa chaîne d'approvisionnement en semi-conducteurs.