中国的秘密“曼哈顿计划”正在建造原型EUV光刻机

中国刚刚将半导体竞争推向了新篇章。在深圳的一个封闭园区内，科学家们建造了一台EUV光刻机原型，华盛顿多年来一直试图阻止其发展。

该机器于2025年初完工，占据了几乎整个工厂楼层，目前正在进行测试。它已经能够产生极紫外光，这是先进芯片制造的关键部分，尽管它尚未生产出可用的芯片。

据知情人士透露，整个项目由前ASML工程师驱动，他们受雇于逆向工程这家荷兰公司最受限的系统。

EUV机器的光束刻画的电路比发丝还要细得多。谁制造这些机器，谁就控制了最高级别的计算能力；人工智能、智能手机、无人机、导弹，皆如此。

ASML首席执行官Christophe Fouquet表示，中国需要“很多很多年”才能建造出EUV系统，但参与该项目的人表示，原型机显示中国比许多人预期的更接近半导体独立。他们还表示，对光学器件和高精度部件的严格限制仍然阻碍着中国的发展。

但他们证实，二手市场上的旧ASML组件帮助该国制造了这台首台国产机器。一人表示，政府希望到2028年生产出可用芯片，但现实日期是2030年。

中国在全国范围内推动招聘和保密

这一原型机是习近平下令实施的六年国家计划的结果，他将半导体自给自足列为首要任务。即使中国公开谈论芯片目标，深圳项目也保持秘密。

官方媒体指定丁薛祥为负责更广泛半导体战略的官员。熟悉这项工作的人将整个努力比作“中国的曼哈顿计划”。

华为发挥了核心作用。该公司连接了国家机构、私营企业和数千名工程师。一位消息人士称，“目标是让中国最终能够使用完全由中国制造的机器制造先进芯片”，并补充说，“中国希望将美国100%踢出其供应链。”

ASML仍然是全球唯一的EUV供应商，机器成本约为2.5亿美元，被TSMC、Intel和Samsung等芯片制造商用于生产由Nvidia和AMD等公司设计的芯片。

ASML表示，从2001年的原型到2019年的商用芯片，花了二十年时间和数十亿欧元。该公司表示，“公司希望复制我们的技术是有道理的，但要做到这一点绝非易事。”

自2018年以来，美国出口管制已禁止向中国销售EUV，并在拜登总统任期内于2022年扩大。特朗普政府现在表示，它将加强执法并堵塞漏洞。

荷兰政府正在筛选研究机构，以防止敏感技术流出该国。这些限制减缓了中国的芯片行业，并限制了华为更先进的生产。

中国建造原型机并扩大国家芯片业务

在深圳的安全实验室内，新招募的人员在身份证上使用假名。一位工程师表示，当他的聘用包附带一个别名时，他感到震惊。他说他认出了也在假身份下工作的前ASML同事。工人们被告知，只有外面的人不能知道他们在建造什么。

许多新招募人员是最近退休的、出生于中国的ASML前工程师。两名目前在荷兰的ASML员工表示，华为招聘人员从2020年开始接触他们。

跨境执行保密规则力度薄弱，ASML曾赢得一项8.45亿美元的判决，针对一名被指控窃取秘密的前工程师，该工程师目前在北京运营。

荷兰情报部门警告称，中国使用“广泛的间谍计划”来收集高科技知识，包括招募西方研究人员。

据称，ASML老兵使这一突破成为可能，因为如果没有他们，逆向工程EUV系统将“几乎不可能”。

中国于2019年开始大规模招聘，提供300-500万元人民币的签约奖金和住房补贴。一名招募人员是林楠，ASML前光源技术负责人。他的新团队在18个月内申请了八项EUV专利。

一些在海外归化的公民甚至获得了中国护照，尽管中国禁止双重国籍。

ASML的系统重达180吨，因此中国在未能匹配原始尺寸后建造了一个更大的原型机。原型机可以工作，但与ASML的版本相比显得粗糙。缺失的部分包括通常由卡尔蔡司AG（Carl Zeiss AG）提供的高精度光学器件。

中国的研究所，包括长春光机所（CIOMP），致力于本地替代品，并于2025年初集成了EUV光束。CIOMP为博士研究人员提供“无上限”薪资和高达400万元人民币的资助。

中国从拍卖和二手市场购买了旧的ASML机器和零部件。一些与尼康（Nikon）和佳能（Canon）相关的零部件也进入了原型机。中介公司掩盖了购买行为。

大约100名应届毕业生逆向工程零部件，每张桌子都有一台摄像机记录工作。当工人成功重建零部件时，会支付奖金。

被分配到半导体团队的华为员工经常睡在宿舍，工作日不能回家。手机受到限制。

据称，一人表示团队保持隔离，以便他们不知道其他人正在建造什么。CEO任正非向高层领导通报了项目里程碑，因为国家正朝着全面控制其芯片供应链迈进。