China umgeht Exportbeschränkungen für Chips mit nachgerüsteten Lithografieanlagen von ASML

Laut Financial Times rüstet China derzeit ältere Lithographieanlagen von ASML um, um weiterhin fortschrittliche KI- und Smartphone-Chips herstellen zu können und so die von den USA und den Niederlanden verhängten Exportbeschränkungen für KI-Chips zu umgehen.

Diese Umgehungslösungen beinhalten die Steigerung der Leistung von eingeschränkten Deep-Ultraviolett-(DUV)-Geräten, die sich bereits im Land befinden, insbesondere des Twinscan NXT:1980i-Systems, das natürlich nicht mehr in China erhältlich ist.

Die Halbleiterunternehmen Pekings, darunter Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) und Huawei, verwenden Komponenten aus Sekundärmärkten, um bestehende Anlagen zu modifizieren.

Dazu gehören verbesserte Wafer-Stage, hochpräzise Linsen und Ausrichtungssensoren, die alle darauf abzielen, die Produktion von Sieben-Nanometer-Chips voranzutreiben, ohne dass die neueste Generation von Maschinen benötigt wird.

Ingenieure installieren Modernisierungsmaßnahmen innerhalb Chinas ohne Beteiligung von ASML.

Mehrere mit dem Nachrüstungsprozess vertraute Personen gaben an, dass lokale Fertigungsbetriebe Komponenten im Ausland kaufen und nach China verschiffen. Dort werden dann externe Ingenieurteams mit dem Einbau beauftragt, wodurch der Originalhersteller ASML.

Diese Modernisierungen haben es chinesischen Chipfabriken ermöglicht, die Genauigkeit der Überlagerung und die Durchsatzgeschwindigkeit zu verbessern, beides ist entscheidend für die Herstellung kleinerer, dichterer Chips für KI-Anwendungen.

verkaufte Geräte warten China, allerdings mit Einschränkungen. Die niederländische Regierung untersagt dem Unternehmen, Upgrades anzubieten, die die Positioniergenauigkeit oder -geschwindigkeit um mehr als 1 % verbessern.

„Das Unternehmen arbeitet strikt innerhalb dieser rechtlichen Rahmenbedingungen und unterstützt keine System-Upgrades, die es den Kunden ermöglichen, die Leistung über das gesetzlich Zulässige hinaus zu verbessern“, erklärte ASML in einer Stellungnahme.

Das US Bureau of Industry and Security (BIS) hat die Unterstützungsaktivitäten von ASML in China überprüft und arbeitet an strengeren Regeln, um den Umfang der Wartungsarbeiten, die das Unternehmen legal durchführen darf, einzuschränken.

Es ist jedoch unklar, ob dieser Plan weiterverfolgt wird, jetzt, da Donald Trump ins Weiße Haus zurückgekehrt ist und eine Pause in den wirtschaftlichen Auseinandersetzungen mit Peking signalisiert hat.

Chinesische Chiphersteller setzen verstärkt auf Mehrfachstrukturierung, um das EUV-Verbot auszugleichen.

China hat noch immer keinen Zugang zu Geräten für extremes ultraviolettes Licht (EUV), die für eine hocheffiziente Produktion auf den modernsten Fertigungsebenen unerlässlich sind.

Das hat die Halbleiterfertigung gezwungen, auf Mehrfachstrukturierung zurückzugreifen, eine Technik, die mehrere DUV-Belichtungen nutzt, um die Leistung von EUV nachzuahmen. Obwohl sie effektiv ist, verlängert sie die Produktionszeit, erhöht die Kosten und verringert die Chipausbeute, also den Anteil funktionsfähiger Chips pro Siliziumwafer.

Dennoch hat der Einsatz von Ersatzteilen chinesischen Chipherstellern geholfen, ihre Produktion zu steigern. TechInsights bestätigte kürzlich, dass SMIC mit diesen modifizierten Anlagen Chips jenseits des Sieben-Nanometer-Prozesses fertigt. Das Unternehmen berichtete außerdem, dass Huaweis Kirin 9030-Prozessor der bisher fortschrittlichste Chip Chinas sei.

„Chinesische Halbleiterfabriken haben beeindruckende Leistungen erbracht, ohne uneingeschränkten Zugang zu den besten Anlagen zu haben, die anderen wie TSMC und Samsung zur Verfügung stehen“, sagte Dan Kim, Chief Strategy Officer bei TechInsights.

Chinas neuere Produktionslinien laufen mit den ASML-Maschinen 2050i und 2100i, die mit modernsten Tischmechanismen ausgestattet sind. Diese Maschinen wurden vor dem Entzug der Exportlizenzen durch die niederländische Regierung im September 2024 geliefert. Viele waren bereits vor Inkrafttreten des Verbots eingetroffen und installiert worden.

ASMLs Umsätze in China stiegen sprunghaft an, da die Fabriken sich vor verschärften Kontrollen schnell noch Maschinen sicherten. 2023 erwirtschaftete das Unternehmen 7,2 Milliarden Euro in China, was etwa 26 % seines weltweiten Umsatzes entsprach. Dieser Wert stieg bis 2024 auf 10,2 Milliarden Euro bzw. 36 % des Gesamtumsatzes.

ASML teilte Investoren im Oktober 2024 mit, dass die Lieferungen nach China im folgenden Jahr „deutlich zurückgehen“ werden.