China umgeht Chip-Exportbeschränkungen mit umgerüsteter ASML-Lithographieausrüstung

China rüstet nun ältere ASML-Lithographiewerkzeuge um, um fortschrittliche KI- und Smartphone-Chips weiter herzustellen und so die von den USA und den Niederlanden festgelegten Exportbeschränkungen für KI-Chips zu umgehen, laut Financial Times.

Diese Umgehungsmethoden beinhalten die Leistungssteigerung bereits im Land vorhandener eingeschränkter Deep-Ultraviolett-(DUV)-Maschinen, insbesondere des Twinscan NXT:1980i-Systems, das natürlich nicht mehr an China verkauft werden darf.

Beijings Halbleiterunternehmen, einschließlich der Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) und Huawei, verwenden Komponenten aus Sekundärmärkten, um bestehende Ausrüstung zu modifizieren.

Dazu gehören aufgerüstete Wafer-Phasen, hochpräzise Linsen und Ausrichtungssensoren, allesamt, um die Produktion von 7-Nanometer-Chips voranzutreiben, ohne die neueste Generation von Maschinen zu benötigen.

Ingenieure installieren Upgrades in China ohne ASMLs Beteiligung

Mehrere Personen, die mit dem Umrüstungsprozess vertraut sind, sagten, dass lokale Fabs Komponenten im Ausland kaufen und nach China versenden. Drittingenieurteams werden dann hinzugezogen, um sie zu installieren, wodurch der ursprüngliche Gerätehersteller, ASML, vollständig umgangen wird.

Diese Upgrades haben chinesischen Fabs ermöglicht, die Overlay-Genauigkeit und Durchsatzgeschwindigkeiten zu verbessern, beide kritisch für die Herstellung kleinerer, dichterer Chips für KI-Anwendungen.

ASML ist erlaubt, bereits an China verkaufte Ausrüstung zu warten, jedoch mit Einschränkungen. Die niederländische Regierung erlaubt dem Unternehmen nicht, Upgrades anzubieten, die die Positioniergenauigkeit oder Geschwindigkeit um mehr als 1 % verbessern.

„Das Unternehmen operiert streng innerhalb dieser rechtlichen Rahmenbedingungen und unterstützt keine System-Upgrades, die es Kunden ermöglichen, Leistungsniveaus über das gesetzlich Erlaubte hinaus zu verbessern“, sagte ASML in einer Erklärung.

Das US-Büro für Industrie und Sicherheit (BIS) überprüft ASMLs Unterstützungsaktivitäten in China und arbeitete an strengeren Regeln, um zu reduzieren, was das Unternehmen legal warten darf.

Es ist jedoch unklar, ob dieser Plan voranschreiten wird, da Donald Trump ins Weiße Haus zurückgekehrt ist und eine Pause in den wirtschaftlichen Auseinandersetzungen mit Peking signalisiert hat.

Chinesische Chiphersteller verlassen sich auf Multi-Patterning, um das EUV-Verbot auszugleichen

China hat immer noch keinen Zugang zu Extreme-Ultraviolett-(EUV)-Maschinen, die für die hocheffiziente Produktion an den fortschrittlichsten Knotenpunkten unerlässlich sind.

Das hat Fabs gezwungen, sich auf Multi-Patterning zu verlassen, eine Technik, die mehrere DUV-Belichtungen nutzt, um die Leistung von EUV zu imitieren. Obwohl effektiv, erhöht sie die Produktionszeit, steigert die Kosten und schmälert den Chip-Ausbeute, den Anteil funktionierender Chips pro Siliziumwafer.

Dennoch hat die Verwendung von Ersatzteilen den chinesischen Fabs geholfen, ihre Ausgabe zu steigern. TechInsights bestätigte kürzlich, dass SMIC Chips jenseits des 7-Nanometer-Prozesses mit diesen modifizierten Anlagen produziert. Das Unternehmen berichtete auch, dass Huaweis Kirin 9030-Prozessor Chinas bisher fortschrittlichster Chip ist.

„Chinesische Fabs konnten beeindruckende Leistungen erbringen, ohne vollen Zugang zu den besten Geräten zu haben, die anderen wie TSMC und Samsung zur Verfügung stehen“, sagte Dan Kim, Chief Strategy Officer bei TechInsights.

Chinas neuere Produktionslinien laufen mit ASMLs 2050i- und 2100i-Tools, die die neuesten Phasenmechanismen aufweisen. Diese Maschinen wurden versandt, bevor die niederländische Regierung ihre Exportlizenzen im September 2024 widerrief. Viele waren bereits angekommen und installiert, bevor das Verbot in Kraft trat.

ASMLs Verkäufe in China stiegen, als Fabs eifrig Maschinen sicherten, bevor strengere Kontrollen in Kraft traten. Im Jahr 2023 erzielte das Unternehmen 7,2 Milliarden Euro aus China, etwa 26 % seines globalen Umsatzes. Diese Zahl stieg 2024 auf 10,2 Milliarden Euro, oder 36 % des Gesamtumsatzes.

ASML sagte den Anlegern im Oktober 2024, dass die Lieferungen nach China im folgenden Jahr „signifikant zurückgehen“ werden.