파이낸셜 타임스에 따르면, 중국은 미국과 네덜란드가 설정한 AI 칩 수출 제한을 우회하기 위해 오래된 ASML 리소그래피 장비를 개조하여 첨단 AI 및 스마트폰 칩을 계속 생산하고 있다.
이러한 해결책에는 이미 중국 내에 있는 제한된 심자외선(DUV) 장비, 특히 현재 중국에 판매되지 않는 트윈스캔 NXT:1980i 시스템의 성능을 향상시키는 것이 포함됩니다.
베이징의 반도체 회사들, 예를 들어 SMIC(Semiconductor Manufacturing International Corporation)와 화웨이는 중고 시장에서 조달한 부품을 사용하여 기존 장비를 개조하고 있다.
여기에는 업그레이드된 웨이퍼 스테이지, 고정밀 렌즈 및 정렬 센서가 포함되며, 이 모든 것은 최신 세대 장비 없이도 7나노미터 칩 생산을 가능하게 하기 위한 것입니다.
엔지니어들은 ASML의 참여 없이 중국 내부에서 업그레이드 설치 작업을 진행합니다.
개조 과정에 정통한 여러 관계자에 따르면, 현지 제조 업체들이 해외에서 부품을 구매하여 중국으로 보내고, 제3자 엔지니어링 팀이 이를 설치함으로써 원래 장비 제조업체인 ASML을 .
이러한 업그레이드를 통해 중국 반도체 공장들은 오버레이 정확도와 처리 속도를 향상시킬 수 있었는데, 이는 인공지능 애플리케이션에 사용되는 더 작고 집적도 높은 칩을 제조하는 데 매우 중요한 요소입니다.
중국 에 이미 판매된 장비에 대한 서비스를 제공할 수 있지만 , 몇 가지 제한 사항이 있습니다. 네덜란드 정부는 ASML이 위치 정밀도나 속도를 1% 이상 향상시키는 업그레이드를 제공하는 것을 허용하지 않습니다.
ASML은 성명에서 "당사는 이러한 법적 틀 내에서 엄격하게 운영되며, 고객이 법에서 허용하는 수준을 넘어 성능을 향상시킬 수 있도록 하는 시스템 업그레이드를 지원하지 않는다"고 밝혔습니다.
미국 산업안보국(BIS)은 ASML의 중국 내 지원 활동을 검토해 왔으며, ASML이 합법적으로 제공할 수 있는 유지보수 범위를 줄이기 위한 더욱 엄격한 규정을 마련해 왔습니다.
하지만 도널드 트럼프가 백악관에 복귀하고 베이징과의 경제적 갈등을 일시 중단하겠다고 시사한 지금, 그 계획이 실제로 진행될지는 불확실하다.
중국 반도체 제조업체들은 EUV 금지 조치의 여파를 만회하기 위해 멀티패터닝 기술에 의존하고 있다.
중국은 최첨단 공정에서 고효율 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 장비를 아직 확보하지 못했습니다.
이로 인해 반도체 제조 업체들은 EUV의 성능을 모방하기 위해 여러 번의 DUV 노출을 사용하는 멀티패터닝 기술에 의존할 수밖에 없게 되었습니다. 이 기술은 효과적이긴 하지만 생산 시간을 늘리고 비용을 증가시키며, 실리콘 웨이퍼 하나당 작동하는 칩의 비율인 칩 수율을 감소시킵니다.
하지만 애프터마켓 부품 사용은 중국 반도체 제조업체들이 생산량을 늘리는 데 도움이 되었습니다. TechInsights는 최근 SMIC가 이러한 수정된 설비를 사용하여 7나노미터 이상의 공정으로 칩을 생산하고 있음을 확인했습니다. 또한 화웨이의 키린 9030 프로세서가 현재까지 중국에서 가장 앞선 칩이라고 보도했습니다.
테크인사이트의 최고전략책임자인 댄 킴은 "중국 반도체 제조업체들은 TSMC나 삼성 같은 다른 업체들이 보유한 최고의 장비를 온전히 이용하지 못한 상황에서도 놀라운 성과를 달성해 왔다"고 말했다
중국의 최신 생산 라인은 ASML의 최신 스테이지 메커니즘을 탑재한 2050i 및 2100i 장비를 사용하고 있습니다. 이 장비들은 네덜란드 정부가 2024년 9월 수출 허가를 취소하기 전에 선적되었으며, 상당수는 이미 도착하여 설치가 완료된 상태였습니다.
ASML의 중국 매출은 강화된 규제에 앞서 반도체 제조 업체들이 장비를 확보하기 위해 분주히 움직이면서 급증했습니다. 2023년 ASML은 중국에서 72억 유로의 매출을 올렸는데, 이는 전 세계 매출의 약 26%에 해당합니다. 이 수치는 2024년에는 102억 유로, 즉 전체 매출의 36%까지 증가할 것으로 예상됩니다.
ASML은 2024년 10월 투자자들에게 다음 해 중국으로의 출하량이 "크게 감소할 것"이라고 밝혔습니다.
